Dưới thời Việt Nam Cộng hòa, địa bàn huyện Châu Đức hiện nay thuộc quận Đức Thạnh, tỉnh Phước Tuy.

Sau năm 1975, chính quyền sáp nhập quận Đức Thạnh với quận Long Lễ thành huyện Châu Thành, tỉnh Đồng Nai.

Ngày 12 tháng 8 năm 1991, huyện Châu Thành thuộc tỉnh Bà Rịa - Vũng Tàu mới thành lập.[4]

Ngày 2 tháng 6 năm 1994, Chính phủ ban hành Nghị định 45-CP[1]. Theo đó:

• Thành lập huyện Châu Đức trên cơ sở các xã Ngãi Giao, Nghĩa Thành, Bình Ba, Suối Nghệ, Xuân Sơn, Bình Giã, Kim Long, Xà Bang, Láng Lớn; các khu kinh tế mới Suối Rao, Đá Bạc; ấp Sông Cầu, xã Hòa Long và ấp Phước Trung, xã Long Phước thuộc huyện Châu Thành cũ
• Chuyển xã Ngãi Giao thành thị trấn Ngãi Giao, thị trấn huyện lỵ huyện Châu Đức
• Chia xã Kim Long thành hai xã Kim Long và Quảng Thành
• Thành lập xã Suối Rao trên cơ sở khu kinh tế mới Suối Rao
• Thành lập xã Đá Bạc trên cơ sở khu kinh tế mới Đá Bạc và ấp Phước Trung thuộc xã Long Phước.

Khi mới thành lập, huyện Châu Đức có 12 đơn vị hành chính trực thuộc, gồm có thị trấn Ngãi Giao và 11 xã: Bình Ba, Bình Giã, Đá Bạc, Kim Long, Láng Lớn, Nghĩa Thành, Quảng Thành, Suối Nghệ, Suối Rao, Xà Bang, Xuân Sơn.

Ngày 23 tháng 7 năm 1999, Chính phủ ban hành Nghị định số 57/1999/NĐ-CP[5]. Theo đó:

• Thành lập xã Sơn Bình trên cơ sở một phần diện tích và dân số của xã Xuân Sơn
• Thành lập xã Bình Trung trên cơ sở một phần diện tích và dân số của xã Bình Giã.

Ngày 22 tháng 10 năm 2002, thành lập xã Cù Bị trên cơ sở một phần diện tích và dân số của xã Láng Lớn.[6]

Ngày 24 tháng 12 năm 2004, thành lập xã Bàu Chinh trên cơ sở một phần diện tích và dân số của thị trấn Ngãi Giao, một phần diện tích và dân số của xã Kim Long.[7]

Huyện Châu Đức có 1 thị trấn và 15 xã như hiện nay.